超聲波清洗儀器的出現(xiàn)替代了常規(guī)的清洗方式，利用高中低頻不同的超聲波頻率劃分了多種用途的超聲波清洗機以提高清洗效率及清洗結(jié)果，那么高中低頻不同的超聲波頻率之間的清洗作用又有什么區(qū)別呢？
超聲波是一種機械波，是機械振動在媒質(zhì)中的傳播。當超聲波在液體中傳播時，液體質(zhì)點受到聲波的擾動后會在其平衡位置附近做微小振動，液體質(zhì)點沒有宏觀上的移動和遷移，但其振動速度和加速度很大。例如聲強為1. 0W/cm2、頻率為20 kHz的超聲波在水中傳播(暫不考慮其非線性效應(yīng))，如果液體質(zhì)點位移振幅為5μm，則質(zhì)點要經(jīng)受壓力在正負1. 68atm之間以每秒2萬次的重復(fù)頻率做周期性變化的作用，質(zhì)點振動速度約為0，63m/s，而振動的加速度達到7.9X10*m/s' ，大約為重力加速度的8000倍。這樣激烈而快速變化的機械運動，于附著在固體表面的灰塵等不溶性固體顆粒，強大的剪切作用足以使固體顆粒從待清洗物體表面脫落，從而達到清洗的目的。
當超聲波的頻率增加到幾百千赫的高頻時，波長短了，λ=0.7~1.5mm，聲場中質(zhì)點的稠密區(qū)與稀疏區(qū)界線模糊，液態(tài)聲場中空化現(xiàn)象幾乎消失，超聲能量表現(xiàn)為媒質(zhì)質(zhì)點加速度能量。例如在硅晶片及光刻清洗中，使用950 kHz超聲波，兩個波峰之間的時間僅為1. 05μs，不足以形成空化泡，但能量將達到重力加速度的10倍，兆級超聲波清洗體現(xiàn)在液態(tài)質(zhì)點對工件表面每秒95萬次的精細擦洗上。這足以使清洗液迅速擴散到基片(工件)與粒子(污物)之間，使工件表面水化，變得濕潤。液膜作用如同尖劈，使粒子從基片脫落，同時液膜也進一步 防止了粒子對基片的二次吸附，這對去除亞微米粒子很有效果。
